有一種更好的測量方法可以獲得較好的測量結(jié)果，這就是使用電子高度測量儀或成形系統(tǒng)。這兩種測量儀器本身都具有較高的測量精度。因此，這種方法不是采用直尺與零件進行對比測量，而是通過量規(guī)，將零件與一個內(nèi)部的基準表面進行對比。高度測量儀和成形機械的基本測量功能和測量方法是相同的。

上述這兩種測量方法都采用一個內(nèi)部測量基準和一個隨著測量表面運動的傳感測量頭，并通過傳感器對測量表面與基準表面的變化進行比較。兩者之間的偏差就是測量的結(jié)果或是被測表面的平直度。知道這個偏差值以后，就可以應用公差范圍以及根據(jù)所要求的公差尺寸，確定零件的表面測量結(jié)果。

如同其他的測量系統(tǒng)一樣，其所使用的測量儀器必須符合零件的要求。有些高度測量儀的精度為0.0002in，而其他一些測量儀，包括某些成形系統(tǒng)，它們的測量精度可以達到0.00001in。其傳感測量頭可以是結(jié)構(gòu)比較簡單的數(shù)字指示器，也可以是比較精密的數(shù)字編碼器探頭。

根據(jù)不同的高度測量儀或成形系統(tǒng)，可以對比表面長度和這個長度上測量點的數(shù)量，設(shè)置各種參數(shù)。幾乎在各種情況下，只要向其發(fā)出一個啟動指令，測量就可以馬上開始。隨著系統(tǒng)將線條進行規(guī)格化處理，并自動地去除角度偏差，就可以自動地顯示出測量結(jié)果了。

最終測量結(jié)果是一幅被測平直度的黑白圖像資料，沒有紅色或藍色的陰影，用戶能夠更容易地看懂結(jié)果。