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寧波市鄞州首南恒宇激光雕刻廠

納秒脈沖光纖激光器:不止于標刻
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這十年來,光纖激光技術已迅速成為1微米波長的材料加工應用中的主要候選技術,尤其在標刻應用中,光纖激光器已占據激光源的三分之一。光纖激光源為用戶提供簡潔的低成本解決方案,無需維護,降低產權方案的成本。對于非技術用戶來說,這也是一種“安裝之后就不必管它”的選擇。 對于許多激光來說,由于在使用氣體或棒狀激光器時,光學器件、熱透鏡或其它對準效應的下降,維持光束質量通常很困難的。事實上,可以采用對特殊模式進行光學設計來滿足特別的材料加工應用。 最新一代的納米脈沖光纖激光器簡潔緊湊,調整光束質量后的光源非常靈活,有若干可配置的脈沖選項。這將改進大多數應用的工藝。近來,峰值功率和脈沖能量的提高使得傳統標刻加工邁上了新的臺階,也使激光器成為功能強大的精密加工工具。 許多光纖激光器基于調Q類型的設計,并且模仿了其他固態激光器的能力。這種光源仍主要應用于當前的標刻應用中,它受限于脈沖參數的能力,不能突破重復率小于100千赫的限制。基于主振動率放大器(MOPA)設計的光纖激光器使用直接調制的種子激光器和放大器通路,能靈活控制如脈沖長度和頻率等脈沖參數。 例如,SPI最新的MOPA設計能夠達到很高的峰值功率,這是無法在標準調制時達到的,在平均輸出功率為40瓦時,一些模式的峰值脈沖功率能超過20千瓦,在30千赫時脈沖能量能大于1.25mJ。另外,這些模式的脈沖頻率范圍高達1到500千赫,脈沖持續時間范圍為20到200納秒,并且能在連續波(CW)模式下工作。 材料加工中,影響質量和生產能力的一些關鍵參數包括:峰值脈沖功率(千瓦)、脈沖能量(mJ)、脈沖頻率(千赫)、平均功率(瓦)、脈沖持續時間(納秒)和光束質量(M2)。大多數脈沖激光材料加工應用需要綜合考慮上述參數。 脈沖加工在本質上嚴重依賴于重疊激光光斑才能取得理想的結果。盡管高一些的重疊也可以讓標記的外觀幾近平滑,但通常對于許多激光加工來說,普遍接受的是大于30%的光斑重疊。高重復率意味著可以達到更高的加工速度。在500千赫時,當掃描速度高達8米/秒時就能夠取得30%光斑重疊的效果。 在加工敏感材料時,需要仔細控制熱輸入,通常最好采用較短的脈沖和較高的重復率。在加工塑料和聚合材料時,則最好維持峰值功率并且限制每單位長度的總熱輸入(見圖1)。其他應用加工,如除漆(24小時標記)、彩色標記、集成電路打標以及薄膜圖案生成(太陽能電池和液晶屏幕),則最好要滿足大于100千赫的條件。光束質量對許多應用來說有著決定性影響,低M2并不是在所有場合中適用,因而在考慮是否適合某用途時必須考慮光束質量。低M2光束能在加工域上產生更小更深的斑點,但是更高的峰值功率將導致過度的中心點強度,從而導致問題發生,例如在薄膜制圖或清除應用中引發基底損壞。當區域較大時,由于行距較小,就需要較小斑點加工更多次。在這些應用中,高M2光束在更寬的功率分布時,更適用于區域加工。 在SPI公司,我們已經開發了一系列脈沖激光器,可以廣泛用于標稱需要不同光束質量的應用(見圖2)。激光器光束質量的影響極為顯著,主要與產生的聚焦斑點尺寸相關。對比研究則顯示出斑點尺寸對于標刻和鉆孔加工應用的影響。當激光脈沖數量相同時,單模脈沖激光器可以產生窄深的高深寬比的孔,而更高模式的激光器則產生漸寬漸淺的孔。這一結果或許在多數情況下有效,不過要指出的是,最終特征不必嚴格與估算的斑點尺寸一致,這應該視應用的要求而定。在深度雕刻和加工反射材料時,脈沖能量和峰值功率是最主要的特性。當峰值功率大于20千瓦、脈沖能量大于1.25mJ時,光纖激光器能同燈泵浦Nd:YAG激光雕刻機相媲美。但是,最好的雕刻質量通常并不是在峰值功率或脈沖能量參數最高時取得。有些公司專注于像鑄模工具這樣的復雜三維雕刻應用,他們開發了將光纖激光器同填充技術和脈沖參數相結合的專有方法,使得每一脈沖僅僅除去幾微米(見圖3)。 其他材料包括像玻璃碳這樣的特殊材料也適于微加工。玻璃碳的高熔點和獨特硬度性質使得傳統機器加工變得很難,而激光器能解決這一問題。劍橋大學學者的研究(見圖4)展示了使用20瓦0.8mJ脈沖激光器對血漿分離器鑄模工具進行加工所能達到的精度。最初,由于背面反射帶來的風險,光纖激光器在加工反射和傳導材料時需要很小心。不過,光學隔離技術的發展讓用戶在這類應用中能夠使用光纖激光器。在珠寶行業中的雕刻中,高脈沖能量在低重復率下除去疏松物質,緊接著,高峰值功率的高重復率、短低能量脈沖來做最后一遍的平滑處理工作(見圖5)。更高的峰值功率和脈沖能量使銅雕刻成為可能。這些用途廣泛的激光器也將應用擴展到傳統打標和雕刻之外。如今,這些激光器已用于切割、焊接甚至熔接等應用。更高的峰值功率和脈沖能量能夠切割包括薄片金屬在內的廣泛材料。使用遠程掃描器技術,還能夠切割包括金、銅、銀及黃銅在內的厚度高達幾百微米的大多數金屬。更厚一些的材料需要使用多遍技術來切割,速度會慢一些,對于某些應用來說,仍然比傳統激光切割工藝更好。 焊接通常被當作一項直接半導體或者連續波光纖激光工藝。然而,對于熱敏感應用來說,傳統激光技術并不能完全控制熱輸入。高重復率脈沖光纖激光器結合快速掃描技術,可以將回流焊接的部件總熱輸入控制得很低。 隨著用戶在新MOPA設計中越來越注重靈活性和多功能性,納秒級光纖激光器的用途正越來越廣。模式質量的可調整性以及脈沖特性的可變性有助于應用領域的拓展。 如今,納秒級光纖激光器已很成熟,應用范圍已從標刻加工延伸至更有用武之地的微加工。因此,不管是何種微加工應用,都可以考慮使用脈沖光纖激光器。

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